Kuten me kaikki tiedämme, maailmassa on vain yksi valmistaja, joka voi tuottaa EUV-litografiaa, se on Alankomaiden ASML.
Ja syy siihen, miksi maailman ainoa, tämä johtuu siitä, että ASML tulee olemaan monia keskeisiä valmistajia niputettuina yhteen, kuten saksalainen optiikkayhtiö Zeiss (Zeiss) ja sitten yhdysvaltalainen Cymer ja sitten saksalainen Tom Fast Group (TRUMPF). ) ja niin edelleen.
ASML on sitonut nämä valmistajat vaunuihinsa investoinneilla, hankinnoilla, omistuksella, tutkimuskeskusten perustamisella ja niin edelleen, ja nämä valmistajat, luultavasti ainoat valmistajat maailmassa, jotka voivat valmistaa näitä tuotteita, joten lopulta vain ASML pystyy tuottamaan EUV-litografiaa. maailmassa.
Äskettäin ASML:n keskeinen toimitusketju juoksi kuitenkin Shenzheniin Kiinaan rakentamaan tehdasta, ja sen Shenzhenin tytäryhtiö asettui Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Parkiin.
Tämä valmistaja on saksalainen Tom Fast Group (TRUMPF), se on ASML:n EUV-litografia, maailman ainoa laserlähdetoimittaja.
TRUMPF-tuotteet EUV-litografiassa, kuinka tärkeitä? Ensinnäkin, anna minun selittää EUV-litografian periaate, ymmärrät.
Yksinkertaisesti sanottuna EUV-litografian periaate keskittyy kolmeen pääjärjestelmään, EUV UV-valolähdejärjestelmään, objektiivilinssijärjestelmään ja pöytäjärjestelmään.
Erityinen prosessi on käyttää laseria äärimmäisen ultraviolettivalon 13,5 nm:n aallonpituuden virittämiseen ja sitten korjauksen jälkeen kontrolloidun valonsäteen muodostamiseen, ja sitten tämä valonsäde heijastetaan fotomaskipöydälle ja projisoidaan sitten objektiivin läpi. peili valotustaulukkoon ja syövytti lopuksi piiri fotoresistillä päällystetylle piikiekolle.
Yksi EUV UV-valolähdejärjestelmistä saadaan pommittamalla tina (Sn) metallipisaraa 30 kW:n tehon CO2-laserilla, haihduttamalla se plasmaksi ja lopulta saamalla 13,5 nm aallonpituuden EUV-valo.
Tämän 30 kW:n CO2-laserin toimittaa TRUMPF, ainoa laatuaan maailmassa.
Älä aliarvioi tätä CO2-laseria, siinä on 457 329 osaa, järjestelmän kaapelin pituus on jopa 7 322 metriä ja paino 17 090 kg, mikä on yksi tärkeimmistä EUV-litografian ydinkomponenteista.
Nyt TRUMPF juoksi Kiinaan rakentamaan tehdasta, tarkoitus on selvä, eli optimistinen Kiinan lasermarkkinoiden suhteen, ja vielä pidemmän aikavälin näkemys, optimistinen Kiinan litografiamarkkinoiden suhteen, tulevaisuudessa voi tehdä yhteistyötä Kiinan kanssa rakentaakseen EUV-litografiaa .
Itse asiassa on jo enemmän kuin yksi ASML toimitusketju käynnissä Kiinaan rakentamaan tehdasta, ennen kuin on KMWE ja muut valmistajat, myös Kiinaan rakentamaan tehdasta.
Mukaan nykyinen suuntaus, voimme optimistisesti odottaa, että se ei voi olla kauan ennen kuin Kiinan litografia tekniikka on iso askel eteenpäin, ja jopa tuotannon määrä EUV litografia, voi myös odottaa, luuletko?
